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Electron Microscopy Center of the ETH Zurich (EMEZ)
 
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Scanning Electron Microscopes (SEM)

FEI Quanta 200 FEG
quanta200feg

features

High Voltage: 0.2-30 kV
Emitter: Schottky Type
Vacuum modes:
- High vacuum
- Low vacuum (<4 mbar)
- ESEM (<40 mbar)

detector systems

SE, BSE, FSE
EDAX Pegasus EDX+EBSD
GATAN MiniCL

location

HPT C 11

year of acquisition

2006

FEI Quanta 600 ESEM
quanta

features

High Voltage: 0.2-30 kV
Emitter: tungsten
Vacuum modes:
- High vacuum
- Low vacuum (<4 mbar)
- ESEM (<20 mbar)
100% rel. humidity

detector systems

SE
BSE
ESEM Mode (SE,BSE)

location

HIF C 17.2

year of acquisition

2003

Zeiss Gemini 1530 FEG
gemini

features

High Voltage: 0.2-30 kV
Emitter: Schottky Type

detector systems

SE+ SE In-lens
BSE

location

HPM A 73.2

year of acquisition

2001

CamScan CS-44
camscan

features

High Voltage: 1-40 kV
Emitter: LaB6

detector systems

EDX
OIM (Orientation Imaging Microscopy)

location

HPT C 10

year of acquisition

1994

 

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© 2012 ETH Zurich | Imprint | Disclaimer | 28 February 2011
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