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Dual Beam FIB/SEM
| Helios Nanolab 600i | |||
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features SEM High voltage: 50V-30kV (with beam deceleration) features FIB Ga liquid metal ion source 0.5 - 30kV Omniprobe micromanipulator |
detector systems
ETD (SE) |
location
HPT C9 year of acquisition 2011 |
| Zeiss NVision 40 | |||
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features SEM
High Voltage: 0.2-30 kV features FIB Gas Injection System C, Pt, SiO2, H2O, XeF2 |
detector systems
SE+ SE In-lens |
location
HPM A66 year of acquisition 2007 |
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